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中瑞祥勻膠機(jī)旋涂?jī)x旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)操作說(shuō)明書
瀏覽次數(shù):22發(fā)布日期:2025-07-01

中瑞祥勻膠機(jī)旋涂?jī)x旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)操作說(shuō)明書

 

旋涂?jī)x有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來(lái)說(shuō),他們?cè)矶际且粯拥?,既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

  旋涂?jī)x的操作說(shuō)明:

  1.開機(jī)前準(zhǔn)備

  (1) 用丙酮與無(wú)塵紙清理之前光阻圖布的殘余物.

  (2) a. 選擇適合尺寸大小的吸盤(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").

  b. 將吸盤裝上(將吸盤缺口處對(duì)準(zhǔn)軸心之插梢位置).

  c. 將樣品放在吸盤上(啟動(dòng)前請(qǐng)確定樣品放在吸盤正中央的位置).  ※ 不可放入破片只能放4吋晶圓,以防光阻倒流入真空吸槽.

  2.開機(jī)&設(shè)定

  (1) a. "POWER"開關(guān)打開.

  b. "CONTROL"按鈕壓下(若沒(méi)有壓下則機(jī)臺(tái)將無(wú)法操作).

  (2) 設(shè)定涂布的時(shí)間及轉(zhuǎn)速 :   Step I Timer I : 2~18 Sec Speed I : 500~2500R.P.M.  Step II Timer II : 3~60 Sec Speed II : 1000~8000R.P.M.

  (3) 打開真空幫浦開關(guān),并將"VACUUM"按鈕壓下此時(shí)開始抽真空吸附樣品. 啟動(dòng)"START",請(qǐng)確認(rèn)涂布的時(shí)間及轉(zhuǎn)速是否已設(shè)定完成.

  (4) 將光阻劑滴在樣品中心的位置.并將上蓋蓋上,防止意外發(fā)生.

  (5) 壓下"START"按鈕,此時(shí)機(jī)臺(tái)開始依步驟(4)的設(shè)定條件依Step I,Step II 的 順序開始涂布樣品.

  (6) 待時(shí)間完畢后,機(jī)臺(tái)隨即停止運(yùn)轉(zhuǎn),完成涂布的動(dòng)作.

  3.關(guān)機(jī)

  (1) "VACUUM"關(guān)閉,并將真空幫浦關(guān)閉,取下完成樣品.

  (2) "CONTROL"按鈕及"POWER"開關(guān)關(guān)閉.  PS. 此機(jī)臺(tái)有預(yù)留廢液回收口,可將多余廢液排出.

  (3) 用丙酮清理圖布后的光阻痕跡.


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