真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿做上下運(yùn)動而實(shí)現(xiàn)密封的。驅(qū)使閥桿運(yùn)動的傳動部件有手動、手電兩動、氣動三種方式。手動傳動部件,以螺紋結(jié)構(gòu)為主,也可以采用平凸輪結(jié)構(gòu)。圖1和圖2分別為直角式、直通式真空擋板閥結(jié)構(gòu)示意圖。手動兩用的傳動部件,由電動機(jī)、蝸輪、蝸桿組成,并裝有行程開關(guān)。
當(dāng)接通電源后,電動機(jī)按某一方向(如開啟方向)旋轉(zhuǎn),通過蝸輪、蝸桿帶動閥桿向上運(yùn)動使閥板上升,當(dāng)閥上升到一定高度時(shí),行程開關(guān)自動切斷電源,閥桿運(yùn)動立即停止,反之亦然。手動時(shí),松開手輪背帽,用手按一定方向轉(zhuǎn)動手輪即可,圖3為GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖。
氣動傳動部件以壓縮干燥空氣為動力,通過電磁換向閥改變氣路方向,推動汽缸活塞上下運(yùn)動,帶動閥桿上下運(yùn)動,使閥板開啟關(guān)閉,從而達(dá)到接通或停止氣流的目的。
直角式真空擋板閥結(jié)構(gòu)
圖1 直角式真空擋板閥結(jié)構(gòu)
1—導(dǎo)向槽;2—導(dǎo)向銷;3—閥桿;4—閥蓋;5—密封閥;6—閥體
直通式真空擋板閥結(jié)構(gòu)
圖2 直通式真空擋板閥結(jié)構(gòu)
1—手輪;2—銷;3,9—密封圈;4—法蘭套;5—波紋管;6—閥桿;7—彈簧;8—閥蓋;10—閥體
GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖
圖3 GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖
1—手動輪;2—減速器;3—限位開關(guān);4—電動機(jī);5—定位座;6—閥門;7—絲桿;8—閥蓋
真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍:軸封為橡膠時(shí)為1.3×10-4~105Pa;軸封為波紋管結(jié)構(gòu)時(shí)為1.3×10-5~105Pa。工作介質(zhì)溫度:-25~80℃(密封件為丁腈橡膠);-30~150℃(密封件為氟橡膠)。閥體材料:碳鋼鍍鎳或不銹鋼;閥板密封材料丁腈橡膠或氟橡膠。
超高真空擋板閥用于超高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍為1.3×10-3~105Pa。閥門開啟狀態(tài),烘烤溫度小于400℃;閥體材料為不銹鋼;閥板材料為無氧銅;軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。這兩種真空擋板閥使用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣或?qū)﹂y門無腐蝕的干凈氣體。不適合用在對金屬有強(qiáng)腐蝕性和含有顆粒狀態(tài)灰塵的氣體情況下長期使用。
高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導(dǎo)大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點(diǎn),形式多樣,規(guī)格齊全,公稱尺寸DN150~1200,結(jié)構(gòu)合理等,因此,被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統(tǒng)之中,如用于真空鍍膜設(shè)備,真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機(jī)、離子束刻蝕設(shè)備、空間環(huán)模設(shè)備等。